BioChem - DOS

기판 처리 장치

대한민국

실시예에 따른 기판처리장치는 기판과, 상기 기판을 지지하는 스테이지와, 상기 스테이지의 일측에 배치되어 기판의 가장자리 영역에 비접촉으로 열을 가하는 연마유닛을 포함할 수 있다. 실시예는 기판의 가장자리 영역을 비접촉식으로 열을 가하여 평탄화작업을 수행함으로써, 기판의 가장자리 영역에 잔존하는 이물질을 효과적으로 제거할 수 있는 효과가 있다.

B24B

1020140068193

2014-06-05

1020150140442

2015-12-16

1021966720000

2020-12-23

엘지디스플레이 주식회사

10.8080/1020140068193

https://doi.or.kr/10.8080/1020140068193

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=d8ed8dd5b70e0b90dcfe8daca075789a008a7c1755661a440c635dc40c155a4181d63bd7b6157a2a91e9848aab3610906fc835a80fe857fa5a4e0e270aa00ba00ea243ec5432b444

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=2ba38663aa11ff0f6ca91af6061a2e00e2c52de0241c1da87c0adbbb5671a867defdda3a187b67d64f84542680d6a4094244b09059e24c44b6a3f93442b70dcef638fd1d2e378e09