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대면적 기판의 건조장치

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바이오화학분류
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      1. 기타
    • 화장품용 기능성소재
      1. 기타
    • 의료용 화학소재
      1. 식품첨가제
특허명

대면적 기판의 건조장치

국가

대한민국

초록

본 발명은 대면적 기판의 건조장치에 관한 것으로, 대면적 기판을 이송하는 이송부와, 상기 이송되는 대면적 기판의 상면과 하면에 건조공기를 분사하는 에어나이프와, 상기 에어나이프의 건조공기에 의해 건조된 기판에서 진공흡입을 통해 세정수 미스트를 제거하는 진공흡입부를 포함한다. 이와 같은 구성의 본 발명은 건조공기를 이용한 대면적 기판의 건조 후, 그 대면적 기판에 잔존하는 세정수 미스트를 진공 흡입 방식으로 흡기하여 제거함으로써, 대면적 기판을 완전 건조시킬 수 있는 효과가 있다.

IPC코드

F26B; H01L

출원번호

1020060126690

출원일자

2006-12-13

공개번호

1020080054448

공개일자

2008-06-18

출원인

주식회사 케이씨

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1 2023-12-11

특허; 2023-12-11

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