초록
(과제) 반도체소자 등의 전자 디바이스의 제조공정에서 금속불순물 및 미립자의 제거성이 우수하고 Cu에 대한 부식이 없으며 구리배선을 가지는 반도체 기판을 세정할 수 있는 세정액 조성물을 제공하는 것에 있다. (해결수단) 구리배선을 가지는 반도체 기판을 세정하는 세정액 조성물로서, 금속을 포함하지 않는 염기성 화합물을 1종 또는 2종 이상, 포스폰산계 킬레이트제를 1종 또는 2종 이상 포함하고 수소이온농도(pH)가 8〜10인 상기 세정액 조성물.