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폴리실리콘 제조용 수평형 반응 장치

메타 데이터

바이오화학분류
    • 바이오정밀화학
      1. 연료
특허명

폴리실리콘 제조용 수평형 반응 장치

국가

대한민국

초록

본 발명에 따르면, 직경이 상이한 제 1 원형 평면과 제 2 원형 평면 사이에서 연장되는 외주면을 구비하는 원뿔대 형상의 반응관 부재들이 상호 접합됨으로써 구성된 실리콘 제조용 반응관으로서, 상기 반응관 부재들 각각의 중심축은 일직선으로 연장되어 수평으로 배치되고, 하나의 반응관 부재의 제 2 원형 평면의 가장자리에 형성된 플랜지와, 인접한 다른 하나의 반응관 부재의 제 1 원형 평면의 가장자리에 형성된 플랜지가 서로 접합되고, 상기 하나의 반응관 부재의 제 2 원형 평면과 상기 다른 하나의 반응관 부재의 상기 제 1 원형 평면은 상이한 직경을 가지고, 상기 복수개의 반응관 부재들 중 적어도 하나에는 외주면을 제거함으로써 형성된 개방부가 형성되는, 실리콘 제조용 반응관이 제공된다. 또한 상기 실리콘 제조용 반응관을 구비한 실리콘 제조용 수평형 반응 장치가 제공된다.

IPC코드

B01J; C01B; C30B

출원번호

1020150055243

출원일자

2015-04-20

공개번호

1020160124519

공개일자

2016-10-28

등록번호

1019552870000

등록일자

2019-02-28

출원인

주식회사 엘지화학

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1 2023-12-11

특허; 2023-12-11

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