BioChem - DOS

기판 박리 장치, 및 기판 박리 방법

대한민국

본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1 기판 및 상기 제1 기판 상에 배치되고, 상기 제1 기판과 결합된 제2 기판에 합착되어 상기 제2 기판을 박리하는 탈착부, 상기 탈착부에 의해 상기 제1 기판 및 제2 기판이 박리되는 속도를 센싱하는 센싱부, 및 상기 탈착부를 제어하여, 상기 제1 기판과 제2 기판이 박리되는 각도를 일정하게 유지하는 제어부를 포함하는 기판 박리 장치를 제공합니다.

G02F

1020140012196

2014-02-03

1020150092398

2015-08-13

삼성디스플레이 주식회사

10.8080/1020140012196

https://doi.or.kr/10.8080/1020140012196

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=d8ed8dd5b70e0b90dcfe8daca075789a008a7c1755661a441f11d750d2294afc8b3b2da7c287c7ddf3c0245442c4d8b368c5bd45002cc088b6f85d903e1e550cbc5dacc069ab8bc0

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