BioChem - DOS

물리적 증기젯 인쇄 장치 및 물리적 증기젯 인쇄 방법

대한민국

금속막 또는 금속산화물막을 패턴 인쇄할 수 있는 물리적 증기젯 인쇄 장치 및 방법이 개시된다. 물리적 증기젯 인쇄 장치는 진공 챔버, 노즐부, 레이저 조사부, 및 가스 공급부를 포함한다. 진공 챔버의 내부에 기판과 노즐부가 설치된다. 노즐부는 기판을 향한 일단에 분출구가 형성된 노즐 본체, 노즐 본체의 내부에 설치된 타겟, 및 노즐 본체에 형성된 레이저 투과를 위한 윈도우를 포함한다. 레이저 조사부는 윈도우를 통해 타겟으로 고출력 펄스 레이저를 조사하여 타겟의 표면 물질이 기화된 플룸(plume)을 발생시킨다. 가스 공급부는 플룸으로 캐리어 가스를 분사하여 플룸과 캐리어 가스를 포함한 증기젯을 분출구로 방출시킨다.

C23C

1020160032350

2016-03-17

1020170108450

2017-09-27

1017990190000

2017-11-13

전남대학교산학협력단

10.8080/1020160032350

https://doi.or.kr/10.8080/1020160032350

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=d8ed8dd5b70e0b90dcfe8daca075789a97d47801dc9cca461da034629f10ab85a0d56427ccd8b5543c64e87f2dca3e4bd940d93c462e3d66624e761bf72eeef9361be620700e61e5

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=2ba38663aa11ff0f6ca91af6061a2e00a117aa9d2701859acd3a5ea65bc6a3d0821c2f47b41fe5dcfb7f268375c8cf0e6f4ebbffcb9ec12b1ac32ebcfb1522bfc88ba31f4df7b781