Catalytic thermal deposition of carbon-containing materials
미국
H01L21/311; H01L21/02; H01J37/32
17235241
2021-04-20
20220336212
2022-10-20
11682554
2023-06-20
Applied Materials, Inc.
Zeqing Shen; Bo Qi; Abhijit Basu Mallick
https://link.kipris.or.kr/link/main/FpatFullDoc.jsp?reg_key=Gtp/a4Q33TBI6FT4yw3AsA%3D%3D&FPATNO=US000011682554B2&CNTRY=US&PATNO_FG=PAN
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특허; 2024-08-21