BioChem - DOS

중합체, 유기막 조성물, 유기막, 및 패턴형성방법

대한민국

화학식 1로 표현되는 부분을 포함하는 중합체, 상기 중합체를 포함하는 유기막 조성물, 상기 유기막 조성물로부터 제조된 유기막, 및 상기 유기막 조성물을 사용하는 패턴형성방법에 관한 것이다. 상기 화학식 1의 정의는 명세서 내에 기재한 바와 같다.

C08G; C08L; G03F

1020140131589

2014-09-30

1020160038462

2016-04-07

1017880910000

2017-10-13

삼성에스디아이 주식회사

10.8080/1020140131589

https://doi.or.kr/10.8080/1020140131589

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=d8ed8dd5b70e0b90dcfe8daca075789a077e18fdc507a493fcc50e960f05a1b6ac4571e047942d737e211d72977cfa398029f2196ca2ff1de978a1bbf92285219aaa7407340ef9f1

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=2ba38663aa11ff0f6ca91af6061a2e00670a7f63b2b62191fbca99e6bec8f2a6664dd3aa395d012e1fd004c782744f01a1bea361b755307b2c1d87829063d97c6318ca2fe7a642a4