BioChem - DOS

기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체

대한민국

본 개시는, 면 형상 덩어리의 발생을 억제하는 것이 가능한 기판 처리 장치를 설명한다. 기판 처리 장치는, 기판을 보유 지지하고, 기판의 표면에 직교하는 방향으로 연장되어 있는 회전축의 주위로 소정의 회전수로 기판을 회전시키는 회전 유지부와, 표면측에 위치하는 처리액 노즐로부터 처리액을 표면에 공급시키도록 구성된 처리액 공급부와, 표면측에 위치하는 적어도 하나의 토출 노즐로부터 유기 용제를 표면에 공급시키도록 구성된 용제 공급부와, 제어부를 구비한다. 제어부는, 회전 유지부 및 처리액 공급부를 제어하여, 회전 유지부가 기판을 회전시키고 있을 때에 처리액 노즐로부터 처리액을 표면에 공급시키는 제1 처리와, 용제 공급부를 제어하여, 기판의 회전에 수반해서 발생하는 원심력에 의해 처리액이 기판의 외주연에 도달하기 전에, 외주연보다도 외측에서 적어도 하나의 토출 노즐로부터 유기 용제를 하방으로 토출시키는 제2 처리를 실행한다.

G03F; H01L

1020180134906

2018-11-06

1020190054932

2019-05-22

도쿄엘렉트론가부시키가이샤

10.8080/1020180134906

https://doi.or.kr/10.8080/1020180134906

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=12df679b84029f739813e9e1875bb85753c9788b0675422b3169f2fab782d7c840396bdfe543375ce67f398599babee46aaec35cd63ae34e6b06d25b348c113ae739f35eab11b6cb

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=2ba38663aa11ff0f6ca91af6061a2e003ca0c948cc5f35194593d6befc6fe4f64f5357e7a8ef277e42ebeb8e8de0ca5ad983728cd4a9618f569881f095379aab78b36bb281e2aaf0