스퍼터링 시스템
대한민국
본 발명은 스퍼터링 시스템에 있어서, 스퍼터링 공정이 수행되는 공정챔버와; 복수개의 처리대상이 함께 적재되는 이송트레이를 상기 공정챔버 내부로 이송하는 트레이이송로봇이 구비된 트레이 이송챔버를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여 복수개의 기판이 기판 트레이를 통해 이송되어 처리되므로 이송속도와 처리효율을 높일 수 있다.
H01L
1020100024665
2010-03-19
1020110105496
2011-09-27
1011679470000
2012-07-17
(주) 엔피홀딩스
10.8080/1020100024665
https://doi.or.kr/10.8080/1020100024665
https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=fc755b99649ebbb6ea812ef40ed6ce96fa843d302694882c95ae8aee96a31621248e2fde9542756431e7cbd1c516841459c5512657c9e835b2512028d6093cddd27c4cf32cc9f8c6
https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=452306798ef1fd03bf8e5ba4e1dbf726233071811db04a3b88314c54d87a7d66f7a4e5bf9044728fb3a1e9dc51f8ae82c51c52a88c82b1952a293c87288347859137ce2992ec6fc2
총 0건의 논문이 있습니다.
총 0건의 특허가 있습니다.
총 0건의 무역이 있습니다.
총 1건의 후보군 물질이 있습니다.
특허; 2023-12-11