BioChem - DOS

공정 관리 시스템 및 장치

대한민국

본 발명의 실시 형태에 따른 공정 관리 시스템은, 소정의 공정 변수에 의해 제어되는 반도체 공정을 복수의 웨이퍼에 적용하는 공정 장비, 및 상기 공정 변수에 대한 통계 데이터를 획득하고, 상기 복수의 웨이퍼로부터 기준 웨이퍼를 선택하는 제어 장비를 포함하고, 상기 제어 장비는 상기 기준 웨이퍼에 적용된 상기 공정 변수를 상기 통계 데이터와 비교하여 상기 공정 변수의 기준 조건을 설정할 수 있다.

H01L

1020140025179

2014-03-03

1020150103578

2015-09-11

삼성전자주식회사

10.8080/1020140025179

https://doi.or.kr/10.8080/1020140025179

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=d8ed8dd5b70e0b90dcfe8daca075789a008a7c1755661a4445cb65d11124b58bfd132bd23ec224b4adb94ad3a1ee54a65de292e92614ae099163207f4f0bb6379aa8e13a631f5b3e

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=2ba38663aa11ff0f6ca91af6061a2e00d6f608d1939b42febde1ab610729e55a6293ad4ec712ba4d1a50738c9e69bad37b3132c15b550049a3b9956896907959c3db1aac03063a02