초록
반송 기구에 영향을 받지 않고 고정밀도의 위치 정보를 확실히 또한 안정적으로 얻음과 아울러 비용 절감 및 소형화 또한 경량화 및 에너지 절약 성향상에 기여한다. 피검사물(P)의 외관을 촬상부(V)에 의해 촬상하고, 화상 처리에 의해 결함 부위의 유무를 검사하는 외관 검사 시스템(1)을 구성할 때에, 피검사물(P) 상에 표시하고 또한 적어도 피검사물(P)의 반송 방향(Fy)(Y좌표 방향)에 있어서의 Y좌표 위치에 대응하는 인코더 패턴을 표시한 Y좌표 패턴부(2y)를 가지는 인코더 패턴 표시부(2)와, 결함 부위를 검출할 때에 당해 인코더 패턴 표시부(2)를 촬상부(V)에 의해 촬상하여 얻은 패턴 신호(Sp)로부터 결함 부위의 위치에 대응하는 적어도 Y좌표 위치를 검출하는 검출 처리부(4)를 가지는 검사 장치(3)를 구비한다. 반송 기구, 피검사물, 촬상부, 반송 방향, Y좌표 패턴부, 인코더 패턴 표시부, 패턴 신호, 검출 처리부, 검사 장치