BioChem - DOS

마스크 및 이를 포함하는 마스크 조립체의 제조방법

대한민국

본 발명의 일 실시예에 따른 마스크는, 길이 방향으로 서로 대향되는 일 단부 및 타 단부와, 두께 방향으로 서로 대향되는 제1면 및 제2면을 포함하는 바디부, 일 단부 및 타 단부 사이에 배치되며, 복수의 패턴홀 및 복수의 패턴홀 사이에 배치되는 리브를 포함하는 패턴부를 포함하고, 가상의 면과 제2면이 접촉되도록 바디부를 가상의 면 상에 배치하는 경우에, 가상의 면으로부터 바디부의 일 단부 및 타 단부 중 하나까지의 거리로 정의되는 컬 값이 1000 이상 4000um 이하이다.

C23C; H01L; H10K

1020160117572

2016-09-12

1020180030315

2018-03-22

삼성디스플레이 주식회사

10.8080/1020160117572

https://doi.or.kr/10.8080/1020160117572

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=d8ed8dd5b70e0b90dcfe8daca075789a05ea41092dfed57b8dc9cf95dcfaafc9761f2a8aba279094905652f4773dfb68a17fa35bd331fbbf73fcf1652f5a6a0756e2a46a3613f4e1

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=2ba38663aa11ff0f6ca91af6061a2e009c1d57c59a55cfcd7f39189e62ed21f3df5f964a98b243be3d1709650156b573a7c3b960d550e26583f9d4951f6a06670433679185374bbe