BioChem - DOS

기판의 결함 검사 장치, 기판의 결함 검사 방법 및 기억 매체

대한민국

본 발명은, 기판을 촬상하여 얻은 검사 대상의 화상에 기초하여, 기판의 결함을 적절하게 분류할 수 있는 기술을 제공하는 것이다. 기판을 촬상하여 얻은 촬상 화상에 대하여 딥 러닝 및 2 클래스 분류부(3)에 의해 결함 영역을 포함하는 2치화 데이터를 얻는다. 이 2치화 데이터로부터 결함 영역을 포함하는 직사각형의 컬러 화상을 작성하고, 이 화상에 기초하여 딥 러닝 시스템을 사용해서 제1 결함의 종류를 추정한다. 또한 상기 2치화 데이터에 기초하여 결함 영역의 형상 등 속성과 웨이퍼(W) 상의 위치를 구하고, 이들 정보에 기초하여 룰-베이스 시스템을 사용해서 제2 결함의 종류를 추정한다. 딥 러닝 시스템에 의한 추정 결과와 룰-베이스 시스템에 의한 추정 결과에 기초하여 결함의 종류를 종합 판정한다.

G01N; G06T; H01L

1020190003651

2019-01-11

1020190088013

2019-07-25

도쿄엘렉트론가부시키가이샤

10.8080/1020190003651

https://doi.or.kr/10.8080/1020190003651

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=12df679b84029f739813e9e1875bb85753c9788b0675422b71cb4db6ac0da873b69b9e64334019a4f1b2c15e63b039b16e8c10ab074632cd9452e71ba0d6271b28178bbbd922b42d

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=2ba38663aa11ff0f6ca91af6061a2e00eb4e1469ae7e285abc0ef56b5d29b60446a50eb7a4c4db16786f3fdf4e6c4fb11c8f4059cd5247177c9777b2c6c3cc7df8371843b0dd44f0