초록
측정 주위 조건의 변동에 관계없이, 유량 센서의 기능을 보다 정확하게 진단한다. 유체의 유량을 측정하는 유량 센서와, 상기 유량 센서의 출력값 또는 이것과 관련되는 값(이하, 이것들을 총칭해서 「출력 관련값」이라고 함)을 측정하여, 측정된 출력 관련값과 그 측정 주위 조건을 관련지어, 상기 출력 관련값 또는 그 출력 관련값이 정상인지 판단하기 위해서 미리 정해진 기준값을 상기 측정 데이터의 측정 주위 조건에 따라서 보정하는 보정부와, 상기 보정부의 보정 결과에 기초하여 상기 출력 관련값과 상기 기준값을 비교하여, 상기 유량 센서의 기능을 진단하는 진단부를 구비한다.