초록
첨가제를 가할 필요가 없고, 또한 인라인으로 직접적으로 촉진 산화 활성종의 농도를 측정할 수 있는 촉진 산화 활성종의 농도 측정 방법 및 농도 측정 장치를 제공한다. 샘플의 파장 195~205nm를 포함하는 파장 영역의 흡광 특성을 측정하는 공정과 파장 195~205nm를 포함하는 파장 영역에서의 촉진 산화 활성종의 흡광 계수에 기초하여 측정한 상기 흡광 특성으로부터 촉진 산화 활성종의 농도를 구하는 공정을 포함하는 촉진 산화 활성종의 농도 측정 방법이다.