기판 검사 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 기판 검사 장치는, 본체의 내부에 기판을 검사하기 위한 밀폐된 공간인 챔버가 형성된다. 이로 인해, 기판에 형성된 복수의 층들을 대기와 차단하기 위한 캡을 기판에 형성하지 않고, 기판을 검사할 수 있으므로, 기판 검사에 의하여, 기판의 결함 부위를 발견하면, 결함 부위만을 리페어한 후 사용할 수 있다. 그러므로, 기판의 제조 원가가 절감된다. 그리고, 상대적으로 부피가 작은 공간인 본체에 형성된 챔버의 분위기만 적절하게 조성하면 되므로, 기판의 제조 원가가 더욱 절감되는 효과가 있다.