Si 및 M 1 이 1:99 내지 25:75의 중량비로 포함되는 합금 분말을 준비하는 단계; 상기 합금 분말을 에칭하는 단계; 상기 에칭한 합금 분말을 세척하는 단계; 및 상기 세척한 합금 분말을 건조하는 단계를 포함하며, 상기 M 1 은 알카리 금속, 알카리 토금속, 전이금속, 전이후 금속, 준금속 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 하나의 원소인 리튬 이차 전지용 음극 활물질의 제조 방법, 상기 제조 방법에 따라 제조된 리튬 이차 전지용 음극 활물질, 및 상기 리튬 이차 전지용 음극 활물질을 포함하는 리튬 이차 전지를 제공한다.