초록
집적회로 장치는, 제1 핀형 활성 영역과 제2 핀형 활성 영역을 포함하는 기판; 상기 제1 핀형 활성 영역 및 상기 제2 핀형 활성 영역 상에서 상기 기판의 상면에 평행한 제1 방향으로 연장되는 게이트 구조물; 상기 제1 핀형 활성 영역 상에서 상기 게이트 구조물의 일 측 상에 배치되는 제1 소스/드레인 영역; 상기 제2 핀형 활성 영역 상에서 상기 게이트 구조물의 일 측 상에 배치되는 제2 소스/드레인 영역; 상기 제1 소스/드레인 영역 상에 배치되며, 제1 부분과 제2 부분을 포함하고, 상기 제2 부분의 상면이 상기 제1 부분의 상면보다 낮은 레벨에 위치하는, 제1 소스/드레인 콘택; 상기 제2 소스/드레인 영역 상에 배치되며, 제1 부분과 제2 부분을 포함하고, 상기 제2 부분의 상면이 상기 제1 부분의 상면보다 낮은 레벨에 위치하는, 제2 소스/드레인 콘택; 상기 제1 소스/드레인 콘택의 상기 제2 부분의 상기 상면을 커버하는 제1 스트레서층; 및 상기 제2 소스/드레인 콘택의 상기 제2 부분의 상기 상면을 커버하며, 상기 제1 스트레서층과 다른 물질을 포함하는 제2 스트레서층을 포함한다.