초록
본 발명은 촉매가 코팅된 성장판이 다수 적층된 매거진이 저장되도록 저장공간을 내부에 형성한 반응챔버와; 상기 반응챔버가 이송되는 이송공간을 구비한 본체와; 상기 본체의 외부로부터 상기 이송공간으로 인입되고, 상기 이송공간을 구획하여 다수의 가열로를 형성하는 구획판과; 상기 본체에 설치되고, 상기 반응챔버를 상기 다수의 가열로에 순차적으로 이송시키는 반응챔버 이송수단과; 상기 구획판을 진퇴시켜 상기 다수의 가열로가 상호 연통 또는 차단되게 하는 구획판 진퇴구동부와; 상기 본체에 설치되고, 상기 구획판에 의해 형성된 다수의 가열로를 개별적으로 가열하기 위한 가열수단과; 상기 반응챔버의 저장공간에 반응가스를 공급 또는 배출시키기 위한 반응가스 출입수단;을 포함하고 있다. 본 발명은 탄소나노튜브를 제조하는 데에 있어, 각각의 공정을 수행하는 다수의 가열로를 순차적으로 배열하고, 촉매가 코팅된 성장판이 저장된 반응챔버가 다수의 가열로에 순차적으로 이동되면서 탄소나노튜브를 제조하기 때문에, 순차적으로 가열하여 냉각되는 과정에서 탄소나노튜브 합성을 위한 일련의 단위공정이 이루어져 에너지 소모를 감소시킬 수 있고, 제조시간을 단축시킬 수 있으며, 대량생산이 가능한 장점이 있다. 탄소나노튜브, 증착, 반응, 탄소원, 순차적, 가열로