스퍼터링 장치
대한민국
기판 상에 박막을 형성하기 위한 제조 장치의 일종인 스퍼터링 장치가 개시된다. 스퍼터링 장치는 스퍼터링 공정을 위한 공정 챔버부; 및 공정 챔버부의 내부 또는 외부에 설치되며, 적어도 1개 이상의 타겟을 각각 포함하는 제1 및 제2 타겟조를 포함하며, 스퍼터링 공정시, 제1 타겟조가 사용되면 제2 타겟조는 비사용되며, 제2 타겟조가 사용되면 제1 타겟조가 비사용되는 방식으로 운용된다. 스퍼터링, 타겟조, 타겟, 공정 챔버부, 셔터
C23C
1020070108024
2007-10-25
1020090042106
2009-04-29
코닝정밀소재 주식회사
10.8080/1020070108024
https://doi.or.kr/10.8080/1020070108024
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특허; 2023-12-11