BioChem - DOS

기판처리장치

대한민국

기판을 처리하는 과정에서 챔버 내의 불순물이 기판에 부착되는 현상을 줄일 수 있도록 개선된 구조를 가지는 기판처리장치를 개시한다. 기판처리장치는 플라즈마를 발생시켜 기판을 처리하는 기판처리장치에 있어서, 기판을 수용하는 수용부를 형성하는 측벽과, 측벽의 상부에 결합되어 수용부를 밀폐하는 절연체를 포함하고, 절연체는, 기판과 대향하는 하부면으로부터 수용부의 내측으로 돌출되는 차폐부와, 하부면과 차폐부가 연결되는 부분에 형성되는 곡면부를 포함한다.

H01L

1020110122672

2011-11-23

1020130056987

2013-05-31

삼성전자주식회사

10.8080/1020110122672

https://doi.or.kr/10.8080/1020110122672

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=d8ed8dd5b70e0b90dcfe8daca075789a6daa87041b0012571969ca58d8d3dc0d01909a49d753d9ff91810ead67c38541e73ab937a07d2679f612b5acd6413803c9d9a3082f3c45f5

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=452306798ef1fd03bf8e5ba4e1dbf726c93fbd653f619849d64d6798123ef2b2419817c2cfdd640f862b8fa3dc4cad6302fa0083a359d0b6e37e62f438424c074ad66ec4102262a2