초록
본 발명은 액정패널(LCD; Liquid Crystal Display Device) 및 Photo Mask, 반도체 웨이퍼의 등의 결함을 수정하는 레이저 리페어 장치의 광학계에 관한 것으로, 레이저 발진부로부터 가공시료에 유도되는 레이저 빔의 유도경로와 가공시료로부터 영상부로 유도되는 이미지 유도경로가 서로 다른 광경로를 갖도록 구성되어 있어 레이저의 출력손실을 줄이며, 큐브타입 하프미러를 사용하여 더블이미지(Ghost image)를 없앰으로써 깨끗한 영상을 얻을 수 있는 등의 효과가 있다.