초록
본 발명은, 스핀코터 시스템에 관한 것으로서, 내부공간이 형성되는 본체부; 상기 내부공간에 설치되되 외부로부터 동력을 제공받아 회전 가능하게 마련되며, 높이 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 회전부; 상기 회전부의 상측에 결합되며, 판 형상으로 마련되는 척부; 상기 척부의 상측에 결합되며, 액체가 상면에 안착되는 경우 상기 회전부에 의하여 회전됨으로써 박막을 형성하는 웨이퍼부; 상기 웨이퍼부가 내부에 수용되도록 상기 본체부에 설치되는 격벽부; 및 사용자에 의하여 조작되며, 상기 내부공간으로부터 상기 척부 또는 상기 웨이퍼부를 이탈시키는 핀셋부를 포함하되, 상기 척부는, 상기 회전부에서 탈부착 가능하게 마련되고, 함몰홈이 형성되며, 상기 핀셋부는, 상기 웨이퍼부의 상측에 배치되는 중심부와, 한쌍으로 마련되어 상기 중심부에서 척부까지 각각 연장형성되는 연장부와, 상기 연장부에서 함몰홈 측으로 절곡되어 함몰홈으로 인입되는 인입부를 포함하며, 상기 격벽부는, 상기 웨이퍼부를 수용하는 수용공간을 형상하는 수용부와, 상기 수용부의 하단 가장자리에서 하측 방향으로 연장형성된 돌출부를 포함하고, 상기 돌출부는, 탄성재질로 마련되되 삼각 형상으로 마련되며, 상기 본체부에 형성된 결합홈에 삽입되어 고정되는 것을 특징으로 합니다. 본 발명에 따르면, 스핀코터가 동작되면서 스핀코터 내부에 용액이 튀는 것이 방지되므로 ...(이하생략)