초록
기판 로딩장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 로딩장치는, 다수의 기판이 장착되는 서브 캐리어(Sub Carrier)와, 서브 캐리어가 착탈 가능하게 결합되는 메인 캐리어(Main Carrier)를 구비하는 캐리어를 이송 가능하게 지지하는 캐리어 컨베이어(Carrier Conveyor); 캐리어 컨베이어에 이웃된 기판 로딩위치에 로딩된 다수의 기판이 캐리어 컨베이어 상의 캐리어로 전달되어 캐리어에 장착될 수 있도록 캐리어 컨베이어에 이동 가능하게 결합되는 캐리어 로딩용 기판 핸들링 유닛; 다수의 기판이 적재되는 기판 적재용 카세트를 카세트 로딩위치로 이송시키는 카세트 로딩 유닛; 카세트 로딩 유닛에 이웃하게 배치되며, 기판 적재용 카세트 내의 기판을 순차적으로 인출하여 기판 버퍼위치로 이송시키는 기판 트랜스퍼 유닛; 및 기판 버퍼위치와 기판 로딩위치 간을 이송 가능하게 마련되어 기판 버퍼위치 상의 기판들을 기판 로딩위치로 이송시키는 기판 버퍼 유닛을 포함한다.