초록
본 발명의 실시예에 따른 광간섭성 단층 촬영 장치는, 빔을 발생시키는 광원; 빔이 통과하여 분할되는 분할 프리즘; 분할 프리즘에 의해 분할된 빔의 이동 경로 상에 배치되어 빔을 라인 빔으로 변환하는 제1 라인 빔 형성 렌즈; 제1 라인 빔 형성 렌즈의 후미에 배치되어, 일측에 배치된 검사 대상물의 적어도 일면적을 스캐닝(scanning)함으로써 발생된 라인 빔을 다시 분할 프리즘으로 보내는 스캔부; 및 상기 스캔부로부터 분할 프리즘을 거쳐 돌아오는 라인 빔을 촬영하여 검사 대상물의 단층 정보를 획득하는 촬영부;를 포함할 수 있다. 본 발명의 실시예에 따르면, 광원으로부터의 빔을 라인 빔으로 변환하여 검사 대상물을 고속으로 스캔하기 때문에 광간섭성 단층 촬영에 소요되는 시간을 종래에 비해 단축시킬 수 있으면서도 정밀한 검사를 실행할 수 있다.