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잉곳성장장치 및 잉곳성장방법

메타 데이터

바이오화학분류
    • 바이오플라스틱
      1. 플라스틱
    • 바이오정밀화학
      1. 용매
      2. 화학제품
특허명

잉곳성장장치 및 잉곳성장방법

국가

대한민국

초록

본 발명은 상측 열차폐 수단을 구비하고 잉곳의 인상경로가 되는 상부 챔버를 포함하는 잉곳성장장치로서, 실리콘 융액이 수용되는 도가니; 상기 실리콘 융액으로부터 잉곳을 성장시키기 위한 종자결정; 상기 종자결정을 고정하기 위한 종자결정 척; 및 상기 도가니 상측에 배치되는 단열 수단으로서, 상기 종자결정 및 종자결정 척이 통과할 수 있는 홀을 갖는 상측 열차폐 수단;을 포함하고, 상기 상측 열차폐 수단은 상기 종자결정 및 종자결정 척이 통과할 수 있는 홀을 갖는 제 1 열차폐부와, 상기 제 1 열차폐부를 지지하기 위한 지지부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이러한 본 발명에 따르면, 상측 열차폐 수단을 사용하여 종자결정과 실리콘 융액의 열 충격을 최소화 하여 네크부의 직경을 향상시킬 수 있고, 본 실시예에 따르면, 네크부의 직경 향상으로 대구경의 단결정 실리콘 잉곳을 생산할 수 있는 장점이 있다.

IPC코드

C30B

출원번호

1020130093481

출원일자

2013-08-07

공개번호

1020150017502

공개일자

2015-02-17

등록번호

1015302720000

등록일자

2015-06-15

출원인

에스케이실트론 주식회사

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1 2023-12-11

특허; 2023-12-11

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