초록
본 발명은 상측 열차폐 수단을 구비하고 잉곳의 인상경로가 되는 상부 챔버를 포함하는 잉곳성장장치로서, 실리콘 융액이 수용되는 도가니; 상기 실리콘 융액으로부터 잉곳을 성장시키기 위한 종자결정; 상기 종자결정을 고정하기 위한 종자결정 척; 및 상기 도가니 상측에 배치되는 단열 수단으로서, 상기 종자결정 및 종자결정 척이 통과할 수 있는 홀을 갖는 상측 열차폐 수단;을 포함하고, 상기 상측 열차폐 수단은 상기 종자결정 및 종자결정 척이 통과할 수 있는 홀을 갖는 제 1 열차폐부와, 상기 제 1 열차폐부를 지지하기 위한 지지부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이러한 본 발명에 따르면, 상측 열차폐 수단을 사용하여 종자결정과 실리콘 융액의 열 충격을 최소화 하여 네크부의 직경을 향상시킬 수 있고, 본 실시예에 따르면, 네크부의 직경 향상으로 대구경의 단결정 실리콘 잉곳을 생산할 수 있는 장점이 있다.