기판 촬상 장치

BioChem - DOS

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기판 촬상 장치

메타 데이터

바이오화학분류

- 바이오플라스틱
  1. 플라스틱
  2. 기타
- 바이오정밀화학
  1. 용매
  2. 화학제품
  3. 기타
- 화장품용 기능성소재
  1. 향수
  2. 기능성
  3. 기타
- 의료용 화학소재
  1. 건강보조식품

특허명

기판 촬상 장치

국가

대한민국

초록

기기 트러블을 억제하면서, 기판 촬상 장치의 소형화 및 저비용화를 도모한다. 검사 유닛(U3)은 웨이퍼(W)를 유지하여 회전시키도록 구성된 유지대와, 유지대의 회전축에 대해 경사짐과 함께, 유지대에 유지된 웨이퍼(W)의 단부면(Wc)과 이면(Wb)의 주연 영역(Wd)에 대향하는 반사면(432)을 갖는 미러 부재(430)와, 유지대에 유지된 웨이퍼(W)의 표면(Wa)의 주연 영역(Wd)으로부터의 광과, 유지대에 유지된 웨이퍼(W)의 단부면(Wc)으로부터의 광이 미러 부재(430)의 반사면(432)에서 반사된 반사광이 모두 렌즈를 통해 입력되는 촬상 소자를 갖는 카메라를 구비한다.

IPC코드

G03F; H01L

출원번호

1020170018051

출원일자

2017-02-09

공개번호

1020170098694

공개일자

2017-08-30

출원인

도쿄엘렉트론가부시키가이샤