[과제] 장치의 구성을 간소화 그리고 공간절약화하는 것을 가능하게 하고, 또한, 기판의 반전을 효율적으로 행할 수 있는 기판반전장치를 제공한다. [해결 수단] 기판(F)을 반전시키는 기판반전장치(1)로서, 제1 흡착부(110)와, 제2 흡착부(160)와, 제1 흡착부(110)의 흡착면과 제2 흡착부(160)의 흡착면이 서로 대향하는 상태에서 제1 흡착부(110) 및 제2 흡착부(160)를 일체적으로 반회전시키는 반전 기구(200)와, 제1 흡착부(110) 및 제2 흡착부(160) 중, 반전 기구(200)에 있어서 이송 위치(200a)에 위치 부여되는 흡착부(100)를 선택적으로 이송시키는 반송 기구(300)를 구비한다.