BioChem - DOS

플라즈마 처리 장치 및 마이크로파 도입 장치

대한민국

본 발명의 과제는 간단한 구성으로 플라즈마의 분포를 균일화하는 것이다. 본 발명에 따른 플라즈마 처리 장치(1)는 처리용기(2)내에 마이크로파를 도입하는 마이크로파 도입 장치(5)를 구비하고 있다. 마이크로파 도입 장치(5)는 천장부(11)의 복수의 개구부에 끼워 맞추는 복수의 마이크로파 투과판(73)을 포함하고 있다. 복수의 마이크로파 투과판(73)은 천장부(11)의 복수의 개구부에 끼워 맞춘 상태에서, 탑재대(21)의 탑재면(21a)에 평행한 1개의 가상의 평면상에 배치되어 있다. 복수의 마이크로파 투과판(73)은 마이크로파 투과판(73A∼73G)을 포함하고 있다. 마이크로파 투과판(73G, 73A)의 중심점 P G , P A 간 거리와 마이크로파 투과판(73G, 73B)의 중심점 P G , P B 간 거리는 서로 동등하거나 대략 동등하게 되도록 설정된다.

H01L; H05H

1020120033452

2012-03-30

1020120112253

2012-10-11

1013938900000

2014-05-02

도쿄엘렉트론가부시키가이샤

10.8080/1020120033452

https://doi.or.kr/10.8080/1020120033452

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=fc755b99649ebbb6ea812ef40ed6ce9647df77ec2d98a3b0a395938dc3303428958138b6e50231f2cc5d939d4580f8bfb0db752019f40566290136a2e8397006274f4fa9add1f1c8

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=2ba38663aa11ff0f6ca91af6061a2e001968eeef34d957f08a648624cabcccde06fa692338222d5918a56b444c88d09917dc665d23fc0921b8c486c1d527281a779d4a9cd32cac47