BioChem - DOS

처리액 토출 노즐, 노즐 아암, 기판 처리 장치, 및 기판 처리 방법

대한민국

본 발명은 파티클의 발생을 억제하는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다. 실시형태에 따른 처리액 토출 노즐은, 기판 처리에 이용하는 처리액을 토출하는 처리액 토출 노즐이다. 처리액 토출 노즐은, 노즐 본체부와, 각도 변경 기구를 구비한다. 노즐 본체부는, 처리액 공급로에 연통(連通)되는 제1 유로가 형성된 제1 본체부와, 제1 유로에 연통되는 제2 유로가 형성되고, 제1 본체부에 대해 굴곡하는 제2 본체부를 갖는다. 각도 변경 기구는, 노즐 본체부가 고정되는 고정 부재에 대해, 수평 방향에 있어서의 노즐 본체부의 각도를 변경한다.

B08B; H01L

1020200082665

2020-07-06

1020210009276

2021-01-26

도쿄엘렉트론가부시키가이샤

10.8080/1020200082665

https://doi.or.kr/10.8080/1020200082665

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=12df679b84029f739813e9e1875bb857db179f70a41bdf4e38794c35dfbd29432dda43f38b8b03f126dea5ee9654bbbe4a19d12f92e5adb49f658ea1d738fa03cc80ed6f5acef5ab

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=6c650beb4cee9ce4122b704b88878c936f8e714d504de88ce0dc90514d3294a513bd7981dbf241fe435440823726a29c5aefa917ddafb6f22d09bda4d2bc7e16cbac6cf69b52451e