BioChem - DOS

하나의 진공 증착 챔버에서 두 장의 기판에 순차 증착하는 시스템

대한민국

본 발명의 목적은 순차 증착 시스템에서 기판의 배열을 달리하여 공간을 절약하고 증착원의 동선을 줄여 물질의 낭비를 줄이고 택 타임을 줄이고자 하는 것이다. 상기 목적에 따라 본 발명은, 두 장의 기판을 나란히 공정 챔버에 넣고, 제1 기판에 대해 증착원이 증착공정을 하는 동안 다른 제2 기판은 마스크 얼라인 및 합착 공정을 실시하고, 제1기판의 증착과 제2 기판의 마스크 합착이 완료되면 두 장의 기판을 함께 나란히 소정 각도만큼 회전시켜 제1기판은 반출하고 증착원이 제2기판 쪽으로 이동하여 제2기판에 박막을 증착하도록 하였다.

C23C

1020160030053

2016-03-14

1020170106674

2017-09-22

1017959120000

2017-11-02

주식회사 야스

10.8080/1020160030053

https://doi.or.kr/10.8080/1020160030053

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=d8ed8dd5b70e0b90dcfe8daca075789a97d47801dc9cca46f9f0924f75cfd6bd32e58ebe817c660dd325f0b893cdb68a267f51fa20b294da5245cf986ee3d842c932554332450f44

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=2ba38663aa11ff0f6ca91af6061a2e0044fffe1f77351e14cb9f2bf9c81ac9cf65711ac9d4134710076d3e8170b5f7fb8a3b446afd475583888f68897aa2b24fba6356320fae6566