단결정 실리콘 웨이퍼 및 반도체 웨이퍼

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메타 데이터

바이오화학분류

- 바이오플라스틱
  1. 고무
  2. 플라스틱
- 바이오정밀화학
  1. 용매
  2. 화학제품
  3. 연료
- 화장품용 기능성소재
  1. 기능성
  2. 계면활성제⁄증점제
- 의료용 화학소재
  1. 치료제

특허명

단결정 실리콘 웨이퍼 및 반도체 웨이퍼

국가

대한민국

초록

실시예의 웨이퍼는 결함 평가의 대상이 되는 웨이퍼로서, 상기 웨이퍼 상에는 산화막이 형성되어 있고, 상기 웨이퍼에 LDP(Loop Dominant Point defect zone) 영역이 포함되고, 표면 광전압으로 측정되는 소수 캐리어의 확산 거리가 450㎛ 이상인 경우, Pi 영역은 440㎛ 이상, LDP는 290~440㎛이다.

IPC코드

H01L

출원번호

1020120099116

출원일자

2012-09-07

등록번호

1013396240000

등록일자

2013-12-03

출원인

에스케이실트론 주식회사