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포지티브형 감광성 수지 조성물

메타 데이터

바이오화학분류
    • 바이오정밀화학
      1. 연료
특허명

포지티브형 감광성 수지 조성물

국가

대한민국

초록

본 발명은 포지티브형 감광성 수지 조성물에 관한 것으로서, 상기 포지티브형 감광성 수지 조성물은 (A) 하기 화학식 1로 표시되는 폴리아마이드 고분자, (B) 에스테르화된 퀴논디아지드 화합물, (C) 페놀기 함유 화합물, 및 (D) 용매를 포함한다. [화학식 1] (상기 식에서, 각 치환기의 정의는 명세서에 정의된 것과 동일하다.) 본 발명의 포지티브형 감광성 수지 조성물은 내열성이 우수하며, 고감도 및 고해상도의 미세한 패턴을 형성할 수 있다. 포지티브 감광성 조성물, 폴리아마이드, 반도체소자 보호막, 페놀성 수산기, 알칼리 수용액, 말단제

IPC코드

C08F; C08L; G03F

출원번호

1020080108990

출원일자

2008-11-04

공개번호

1020100039183

공개일자

2010-04-15

등록번호

1010158570000

등록일자

2011-02-11

출원인

제일모직주식회사

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1 2023-12-11

특허; 2023-12-11

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