본 발명은 기판 반송 장치 및 이를 구비한 기판 처리 시스템에 관한 것으로서, 본 발명의 실시예에 따른 기판 반송 장치는 로봇암, 상기 로봇암을 구동시키는 구동부, 그리고 상기 로봇암의 일측 말단에 결합된 지지 플레이트를 포함하며, 상기 지지 플레이트는 플레이트 본체와, 상기 플레이트 본체의 후면에 형성된 보강 리브와, 상기 플레이트 본체의 전면에 부착된 점착 시트를 포함한다. 대형 기판, 점착 시트, 보강 리브, 지지 플레이트, 기판 반송 장치, 기판 처리 시스템