BioChem - DOS

진공밸브

대한민국

본 발명은 외부로부터 공급되는 기체를 밀폐부재에 형성되는 밀폐링 부근에 분사되도록 구성함으로써, 공기 세정작업을 위해 유체배출부가 개방된 상태가 되어 밀폐링이 유체이동부에 노출되어 있어도 파티클 등의 공정부산물에 의해 밀폐링이 손상되는 것을 방지하여 진공밸브의 밀폐에 대한 신뢰성을 확보할 수 있다는 장점이 있다.

F16K; H01L

1020190017137

2019-02-14

1020200099315

2020-08-24

1021941060000

2020-12-16

프리시스 주식회사

10.8080/1020190017137

https://doi.or.kr/10.8080/1020190017137

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=12df679b84029f739813e9e1875bb857a71431df967939ae45535216e843008230ddb512002f673d5b89f9e7525e1a337570b8105488d071f139234045fcb12c54f5b25aa69aa029

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=2ba38663aa11ff0f6ca91af6061a2e009352d2f0b55ae011984501e70bf47498166fe8455f5766f0025c0b58315e822f8c9ec1e31f6e00c7d8322269981d25da749f2ea07a35bef7