실시예에 따른 에피 웨이퍼 제조 방법은, 서셉터 내에 웨이퍼를 준비하는 단계; 및 상기 웨이퍼 상에 에피층을 성장시키는 단계를 포함하고, 상기 웨이퍼 상에 에피층을 성장시키는 단계는, 상기 서셉터 내에 연료를 투입하는 단계; 상기 웨이퍼에 제 1 성장 속도로 에피층을 성장시키는 단계; 및 상기 웨이퍼에 상기 제 1 성장 속도보다 높은 제 2 성장 속도로 에피층을 성장시키는 단계를 포함한다. 실시예에 따른 에피 웨이퍼는, 웨이퍼; 및 상기 웨이퍼 상에 형성되는 에피층을 포함하고, 상기 표면 결함은 1ea/㎠ 이하이고, 상기 표면 결함은 마이크로파이프(micropipe)를 포함한다.