초록
본 발명의 화학기계적 연마장치는 플레이튼 상에 위치하는 연마 패드와, 상기 연마 패드 상에 위치하는 연마 헤드와, 상기 연마 헤드의 하부 둘레에서 연마시 웨이퍼의 이탈을 방지하도록 설치되고, 상기 연마 헤드에 조립되는 상부 리테이닝 부재와 상기 상부 리테이닝 부재에 결합된 하부 리테이닝 부재를 포함하는 리테이너과, 상기 하부 리테이닝 부재에 설치되어 상기 리테이너링의 부서짐을 억제하는 탄성 보강 유니트를 포함한다. 상기 하부 리테이닝 부재는 상기 상부 리테이닝 부재가 안착 및 탑재되는 안착부, 상기 안착부의 외측에 형성되어 있는 외륜부 및 상기 안착부의 내측에 설치되어 있는 내륜부, 상기 외륜부와 접하지 않게 상기 내륜부의 내측 둘레를 따라 설치된 국부 압력 인가부를 포함하고, 상기 탄성 보강 유니트는 상기 국부 압력 인가부 내에 끼워지도록 설치되어 있다.