본 발명은 검사 장치 및 검사 방법을 개시한다. 검사 장치는 셀프 검사 가능한 반도체 소자들의 검사 공정을 수행하는 장치이다. 그의 장치는, 상기 반도체 소자들의 검사에 사용되는 검사 프로그램을 보유한 서버와 통신하는 스택커 부와, 상기 반도체 소자들을 탑재하여 상기 스택커 부 내에 제공되고, 상기 서버로부터 상기 검사 프로그램을 전달받아 상기 반도체 소자들에 제공하는 복수개의 검사 기판 부들을 포함한다. 상기 스택커 부는 상기 복수개의 검사 기판 부들을 수납하는 스택커들과, 상기 스택커 내의 상기 검사 기판 부들 및 상기 서버와 통신하는 스택커 컨트롤러를 포함할 수 있다