연마 시스템 및 연마 방법
대한민국
본 발명의 일 실시예는, 연마휠부와, 회전축에 대하여 상기 연마휠부를 회전시키는 회전유닛을 구비하는 연마유닛 및 연마대상체와 상기 연마유닛이 접촉하는 면에 있어 상호 접촉하는 힘이 연마 진행 방향을 따라 균일하도록 상기 연마유닛의 선형운동을 제어하는 구동유닛을 포함하는, 연마 시스템을 제공한다.
B23Q; B24B
1020190079694
2019-07-02
1020210011085
2021-02-01
1023399480000
2021-12-13
(주)미래컴퍼니
10.8080/1020190079694
https://doi.or.kr/10.8080/1020190079694
https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=12df679b84029f739813e9e1875bb857db179f70a41bdf4e02f9fadfbe1a465a28c67255fc716aaa0bf283c8236089d74658e5b57079a73d6ece2e1f752c2b80fe682b85ad8f53ce
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특허; 2023-12-11