BioChem - DOS

처리액 공급 장치의 운전 방법, 처리액 공급 장치 및 기억 매체

대한민국

본 발명의 과제는, 기판에 대하여 처리액에 의해 처리하는 데 있어서, 처리액 여과용 필터를 교환할 때의 약액 소비량의 저감과 교환에 걸리는 시간의 단축이 가능한 처리액 공급 장치의 운전 방법을 제공하는 것이다. 처리액 공급 장치(10)는 유로 부재와, 처리액 공급원(12), 처리액을 여과하는 교환 가능한 필터부(14)와, 처리액을 노즐(61)까지 송출하기 위한 송액 기구를 포함한다. 필터부(14)는 각각 하류측을 감압하는 감압 여과와 상류측을 가압하는 가압 여과가 가능하게 되어 있다. 필터부(14)의 신규 장착 시, 필터부(14) 내부에 통액한 후, 필터부(14)에 있어서 상기 2가지의 압력에 의한 여과 방법을 반복함으로써, 필터부(14) 내의 미세 기포가 팽창 혹은 소멸하고, 필터부(14) 내로부터 제거하기 쉬워지므로, 필터부(14) 장착 후, 신속하고 또한 처리액의 소비량을 억제하면서 처리액 공급 장치(10)의 구동을 할 수 있다.

H01L

1020130091329

2013-08-01

1020140018130

2014-02-12

1017883520000

2017-10-13

도쿄엘렉트론가부시키가이샤

10.8080/1020130091329

https://doi.or.kr/10.8080/1020130091329

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=d8ed8dd5b70e0b90dcfe8daca075789aff8621a15270194601a859335391f27c71195239dbba65ee066b31572cde235fe2d2fe34d44b92ceba629a5a913fe0cca9a5daff7188788f

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=2ba38663aa11ff0f6ca91af6061a2e00db5902e263690ad86ef4f9d8ba9839b1923176e92bc0101b49cd616d889016572d8afc1ca793fd92470a211aa0a65ae3076af5fec6c11524