Spin on carbon composition and method of manufacturing a semiconductor device
미국
H01L21/02
17864293
2022-07-13
20220367178
2022-11-17
11728161
2023-08-15
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD.
Jing Hong Huang; Ching-Yu Chang; Wei-Han Lai
https://link.kipris.or.kr/link/main/FpatFullDoc.jsp?reg_key=Gtp/a4Q33TBI6FT4yw3AsA%3D%3D&FPATNO=US000011728161B2&CNTRY=US&PATNO_FG=PAN
총 0건의 논문이 있습니다.
총 0건의 특허가 있습니다.
총 0건의 무역이 있습니다.
총 1건의 후보군 물질이 있습니다.
특허; 2024-08-21