MEMS 가속도 센서

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MEMS 가속도 센서

메타 데이터

바이오화학분류

- 바이오플라스틱
  1. 플라스틱
- 바이오정밀화학
  1. 용매
  2. 화학제품
  3. 연료
  4. 기타
- 화장품용 기능성소재
  1. 계면활성제⁄증점제
- 의료용 화학소재
  1. 식품첨가제

특허명

MEMS 가속도 센서

국가

대한민국

초록

본 발명은 MEMS 가속도 센서에 관한 것이다. 본 발명에 따른 MEMS 가속도 센서는 기판과, 상기 기판과 평행하게 배치되는 센서 질량체(proof mass)와, 상기 센서 질량체가 상기 기판의 평면 내 방향의 회전축을 중심으로 회전 가능하게 장착되도록 하는 앵커를 포함하고, 상기 센서 질량체는 상기 회전축을 기준으로 나누어지는 제1 및 제2 파트를 포함하고, 상기 제1 파트는 상기 제2 파트의 무게와 달라지도록 적어도 일부분이 제거된 것을 특징으로 한다.

IPC코드

B81B; B81C; G01P

출원번호

1020190029964

출원일자

2019-03-15

공개번호

1020200110007

공개일자

2020-09-23

출원인

엘지전자 주식회사