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웨이퍼 위치 보정 기능을 갖는 웨이퍼 처리 시스템 및 그것의 티칭 방법

대한민국

웨이퍼 위치 보정 기능을 갖는 웨이퍼 처리 시스템 및 그것의 티칭 방법에 관한 기술이다. 본 실시예의 웨이퍼 처리 시스템은 웨이퍼 안착 플레이트를 포함하는 반응 챔버; 상기 반응 챔버내의 상기 웨이퍼 안착 플레이트로 웨이퍼를 이송하기 위한 웨이퍼 이송 장치, 상기 웨이퍼 안착 플레이트에 안착된 상기 웨이퍼의 위치를 검출하기 위해, 상기 웨이퍼 안착 플레이트를 촬상하기 위한 적어도 3개의 비전 카메라, 상기 비전 카메라 및 상기 반응 챔버 상부와 결합되는 지그 조립체, 및 상기 지그 조립체에 구비되며 상기 비전 카메라와 대응되는 개수로 형성되는 뷰 포트를 포함하는 웨이퍼 위치 측정 장치; 및 상기 복수의 비전 카메라에 의해 촬상된 상기 웨이퍼의 위치 정보를 통해, 상기 웨이퍼의 위치 변동 정보를 산출하고, 상기 웨이퍼 위치 변동 정보를 통해 상기 웨이퍼 이송 장치를 티칭하도록 제어하는 제어 장치를 포함한다.

H01L

1020170132190

2017-10-12

1020190041126

2019-04-22

1022832200000

2021-07-23

주식회사 원익아이피에스

10.8080/1020170132190

https://doi.or.kr/10.8080/1020170132190

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=12df679b84029f739813e9e1875bb85753c9788b0675422bd6933aec559c207760d8e20b1275d23d94ff205999c633e45fa01307f75c80c7c81076fa0133b7ec3af3d27517b7826c

https://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=6c650beb4cee9ce4122b704b88878c9368b4a846597cc8ceda8bd301bcd3393417b1a08e4dd7e91a2d7bd61baf5a30d4e314ce9d492f21d5800c851850f464b5c6ac1db64712f2ac